Главная » Статьи » Мои статьи

Важность вакуума

Важность вакуума

Тонкие плёнки.

Наверное значительное число людей сегодня очень активно используют современную электронную технику(цифровые фотоапараты). За последнее время произошла существенная миниатюризация электроники, последствием чего стала миниатюризация структурных элементов электронных устройств. Причём миниатюризация структурных элементов дошла до того, что для структурных элементов становится важным размерный эффект (зависимость некоторых свойств объектов от размера( степени переохлаждения, )). Поэтому в последнее время значительное внимание уделяется изучению размерных эффектов. Для исследования размерных эффектов используются модельные объекты, в частности тонкие плёнки.

Тонкие плёнки у нас получаются термическим распылением изучаемого вещества, причём распыление производится в высоком, либо сверхвысоком вакууме. Поскольку степень вакуума и эго чистота является важным техническим фактором, определяющим свойства получаемых тонких плёнок, вопросы и методы создания вакуума являются существенным вопросом при исследование поведения разных модельных объектов и в частности тонких плёнок. Описанию методов получения высокого вакуума посвящён сайт

Также при напылении тонких плёнок , а также при проведении других экспериментов для которых необходим вакуум, важным является контроль степени вакуума.

Поскольку для контроля вакуума не могут использованы обычные манометры, основанные на измерении силы, приходится использовать манометрические устройства, основанные на других принципах, в частности термопарные (контроль форвакуума) и ионизационные лампы(для измерения давления в районе высокого вакуума).

Ещё одним существенным моментом являетсяосуществление экспресс контроля толщины напыляемой плёнки.

Для контроля толщины тонкой плёнки могут быть использованы различные методы, например метод на зависимости собственной часоты кварцеваго резонатора, от его массы.

Конечно тонкие плёнки могут быть полученны не только термическим вакуумным распылением, но и другими методами.

К ним можно отнесити плазменное, ионное, электронное расспыление. Эти методы обладают как рядом преимуществ, так и недостатками. С помощью ионного и электронного распылений возможно плёнок, состоящих из тугоплавких веществ, к сожалению по сравнению с термическим испарением в этом случае необходимо

намного более сложное, дорогостоящее и капризное оборудование. Однако, вне зависимости от применяемого метода получения тонких плёнок, важным условием осуществления эксперимента, является получение вакуума.

Вакуумные условия напыления тонких плёнок являются чрезвычайно существенными для проведения экспериментов.

Наличае значительного числа остаточных газов в системе может привести к загрязнению создаваемой плёнки, даже несмотря на быстрое проведение испарения. Минимально необходимым вакуумом считается вакуум 10^-4 мм. Рт. Ст., однако в этом вакууме влияние остаточных газов ещё очень велико и проведение экспериментов в таком вакууме чрезвычайно ограничено. Основные эксперименты осуществляются в вакууме 5*10^-6 мм. Рт. Ст., однако даже при использовании такого вакуума, влияние остаточных газов ещё значительно.

В целом вопросы тонких плёнок являются очень интересными и важными.

Категория: Мои статьи | Добавил: ulia-panchenko (22.02.2010)
Просмотров: 690 | Рейтинг: 0.0/0
Всего комментариев: 0
Имя *:
Email *:
Код *: